磁尺是利用磁的原理制作而成的傳感器。基尺是被均勻磁化的鋼帶。S和N均勻間隔排列在鋼帶上，通過讀數(shù)頭讀取S，N的變化來記數(shù)。磁尺是利用與錄音技術(shù)相似的方法，通過錄磁頭在磁性尺(或盤)上錄制出間隔嚴格相等的磁波這過程稱為錄磁。已錄制磁波的磁性尺稱為磁柵尺。磁柵尺上相鄰柵波的間隔距離稱為磁柵的波長，又稱為磁柵的節(jié)距(柵距)。

　　磁尺在中小型機床上安裝方便,由于磁柵尺具有與鐵芯相似的熱膨脹系數(shù),因此,受溫度影響小,加上它又具有抗機械振動、鐵屑和油污染,并可以屏蔽外界磁干擾,能度要求,便于維修等優(yōu)點,可廣泛應(yīng)用在中小型鏜銑床上,是目前中小型鏜銑床上使用的的位置測量傳感器。

　　光柵尺則是利用光的干涉和衍射原理制作而成的傳感器。當(dāng)兩塊柵距相同的光柵疊放在起，同時讓線紋構(gòu)成微小角度，這時在平行光照射下，與刻線垂直方向上能看到對稱分布的明暗相間的條紋，稱為莫爾條紋，因此莫爾條紋是光的衍射和干涉作用的總果。當(dāng)光柵移動個小柵距時，莫爾條紋隨之移動個條紋間距，這樣，我們測量莫爾條紋的寬度比測量光柵線紋寬度容易的多。此外，由于每條莫爾條紋都是由許多光柵線紋的交點組成，當(dāng)線紋中有條線紋有誤差時（間距不等或傾斜），這條有誤差的線紋和另光柵線紋的交點位置將產(chǎn)生變化。但是，條莫爾條紋是由許多光柵線紋交點組成，因此，個線紋交點位置的變化，對于條莫爾條紋來講其影響小了，所以莫爾條紋可以起到放大和平均的作用。

　　光柵尺受溫度影響較大，般使用環(huán)境在40攝士度以下，三坐標(biāo)測量機般都要求在恒溫恒濕環(huán)境下測量，測量度。

　　敞開式磁柵尺容易受磁場影響，封閉式磁柵尺則無此困擾，但成本較高。